Pompe à vide centrifuge
Une pompe à vide centrifuge, souvent appelée pompe turbomoléculaire, est une pompe mécanique qui atteint un vide poussé et ultra-push grâce à l'utilisation de plusieurs étages d'aubes de turbine rotatives à grande vitesse. Ces dernières entrent en collision avec les molécules de gaz et leur transmettent une quantité de mouvement directionnelle, les propulsant de l'admission à l'échappement. Ses principales caractéristiques sont la capacité de créer un environnement de vide extrêmement propre et sans huile, ainsi que des vitesses de pompage élevées et un excellent vide limite. Son fonctionnement est entièrement mécanique, sans aucun fluide de pompage, éliminant ainsi le risque de contamination par les vapeurs d'huile. C'est un composant essentiel dans les domaines de pointe exigeant une pureté de vide maximale, tels que la fabrication de puces semi-conductrices, la recherche scientifique, les sciences des surfaces et la physique des hautes énergies.